열전도도 측정에 흔히 사용하는 LFA 장비는 IR 검출기를 이용하여 샘플 후면의 온도 변화에 대한 signal을 얻는 반면, 박막 시료 측정에 적합한 Nano-TR 장비는 짧은 시간의 열 변화율을 측정해야 하기에 표면 온도에 따라 반사광의 반사율이 달라지는 시간 영역 열 반사율(TDTR, Time Domian ThermoReflectance)의 원리를 이용한다. 이에 LFA 장비로 측정하기 부적합한 박막 샘플에 대한 수직 열전도도 값을 측정할 수 있다.

열을 부여하는 pump laser와 온도 변화를 탐지하는 probe laser로 이루어져있으며, 측정 mode로는 RF (Rear heating/Front detection) 및 FF (Front heating/Front detection)이 있다. RF mode에서는 Thermal diffusivity, Interfacial thermal resistance을 FF mode에서는 Thermal diffusivity, Thermal effusivity 값을 얻을 수 있다.

낮은 열전도도를 갖는 재료(고분자 등)에서부터 높은 열전도도를 갖는 재료(세라믹, 금속화합물 등)까지 다양한 물질을 측정할 수 있는 장점을 가지고 있다.

Pump laser : (pulse width) 1ns, (wave length) 1550nm, (Beam diameter) 100um

Probe laser : (pulse width) continuous, (wave length) 785nm, (Beam diameter) 50um

Temperature Range : 25 ℃

Thermal Diffusivity measuring range : 0.01 ~ 1000mm2/s

Measurement items : Thermal diffusivity, Thermal effusivity, Interfacial thermal resistance

고기능성, 고밀도 집적 소재의 방열 특성 분석

얇은 두께를 지닌 박막 물질 Thermal diffusivity, Thermal effusivity, Interfacial thermal resistance 측정

1. 수직 열확산계수(25℃) : 200,000원/시료

2. Mo metal film coating : 30,000원/단면

3. Substrate (열확산계수, 비열), Measuring object(비열), Metal film(비열) 측정 의뢰 시 LFA, DSC 사용료 적용

4. 측정 가능 여부 test : 50,000원/시료

  (측정 부적합 상태로 샘플 제공할 경우, 판단을 위한 측정 시도에 대한 항목)

열물성분석실 측정 시스템에서는 의뢰자가 예약한 시간에 분석하기 어렵습니다. 

시료 도착 순서 기준으로 측정 진행하오니, 분석 일정에 착오없으시기 바랍니다.