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다목적 X-선 회절분석기

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다목적 X-선 회절분석기 (multi XRD)
다목적 X-선 회절분석기 (multi XRD)
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  • 기기명(한글) 다목적 X-선 회절분석기
  • 기기명(영문) Multi purpose X-ray diffractometer
  • 모델명 SmartLab (9kw)
  • 제작사 Rigaku
1. 특징

X-선 회절분석기는 물질을 구성하는 원자의 종류와 배열 상태에 따라 달라지는 X-선 회절각 및 강도를 측정하여 물질의 구조 정보를 정성/정량 분석하는 장비이다.

본 장비는 고출력(9kW) X-선 발생장치를 사용하여 범용 XRD에서 관찰하기 어려운 미량 성분 분석이 용이하고, 고정밀 다축 회전 시료대 (Chi-Phi attachment & Z-axis), in-plane system을 포함하고 있어 conventional XRD 뿐만 아니라 박막 시료의 Grazing Incidence XRD(GID), In-Plane 측정 분석이 가능하여 박막 특성 평가 등 재료 소재 관련 분석이 용이하다.

또한 분말 측정을 위한 Basic Optic system 뿐만 아니라 CBO(Cross Beam Optic)를 장착하여 불필요한 요소(Kβ line , Background 등)를 제거하고 Rough surface에 의한 Peak shift 방지 할 수 있으며, Ge(220) Crystal (monochromator)를 포함한 Parallel Beam Optic System과 300mm Radius Goniometer 등 고분해능 시스템(High Resolution System)을 갖추고 있다.

2. 사양
1. X-ray generator
  1) Max. power : 9kW(45kV,200mA)
  2) X-ray target material : Cu
  3) X-ray source type : rotating anode

2. Goniometer
  1) Type : vertical theta-theta type
  2) Goniometer radius : 300mm
  3) In-plane(2θχ) range : -3° to + 120°
  4) Chi-axis range : -5° to +95°
  5) Phi-axis range : -360° to +360°

3. Slit optics
  1) Multi-layer mirror for K-alpha divergent beam
  2) Multi-layer mirror for Parallel beam
  3) Inc. & Rec. slit : automatic variable slit
  4) Channel-cut crystal : Ge(220)

4. Detector
  1) Type : Multi-channel semi-conductive detector
  2) Active area : 384mm²
  3) XRF reduction mode : provided
3. 활용분야
각종 시료에 대한 결정상의 정성/정량 분석, 결정화도, 격자상수 변화에 대한 분포, 결정의 배향성, X-선 반사를 이용한 박막의 두께, 거칠기 및 밀도 등 분석
-. 측정 : Conventional XRD, GID,  Rocking curve, XRR, HR-XRD, In-Plane 등
-. 도출 가능 결과 : 정성(Phase identification), 정량(WPPF, Rietveld), Comprehensive analysis(Crystallite size&strain) 등
4. 시료준비
1) Thin film : 4, 6 inch wafer 또는 가로 2cm x 세로 2cm 이상 substrate
2) Powder : 손으로 만졌을때 이물감이 없을 정도의 고운 입자상태 분말 약 100 mg 이상
   ( ※ 고가의 시료 및 합성시료 소량(약 5mg) 측정 가능)
3) Liquid : 약 5mL
4) Bulk : (가로 2cm x 세로 2cm)이상 x 높이 2cm 미만( ※ 시료면이 평평하게 제작 필요)

※ XRR : 4)와 동일하며 film의 두께 약 500nm까지 가능하다 메이커에서 안내하고 있습니다.(200nm 이하 권장 드립니다.)
    시료에 대한(film 구성물질, 예상하는 두께, 밀도/ substrate 정보) 분석조건에 작성 바랍니다.
5. 사용요금
1. Normal XRD : 80,000원/시료(30분/9kW)
2. GI-XRD : 80,000원/시료(30분/9kW)
3. HR-XRD : 80,000원/시료(30분/9kW)
4. Rocking Curve : 80,000원/시료(30분/9kW)
5. In-Plane : 100,000원/시료
6. XRR : 120,000원
※ 측정시간 초과 시, 추가요금 발생 : 80,000원/30분
7. Fitting : 50,000원 
8. 정성 분석 : 20,000원
9. 정량(Rietveld) 등 특수기능 : 30,000원/시료 
10. 시료전처리 및 결과처리 : 10,000원/시료
6. 유의사항
홈페이지 접수 확인 후, 샘플 수령 후 장비 스케줄에 따라 3~5일 소요될 수 있습니다.

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