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- 전계방사 주사전자현미경 (FE-SEM/EDS)
- 기기명(한글) 전계방사 주사전자현미경
- 기기명(영문) Field Emission Scanning Electron Microscope/Energy Dispersive X-Ray Spectrometer
- 모델명 JSM-7900F
- 제작사 JEOL
- 도입시기 2019-03-01
- 설치장소 에너지센터 B107호
- 담당자
- 기기상태 활용
- 1. 특징
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FE-SEM은 전계방출형 전자총에서 가속된 전자가 시료의 표면에 조사될 때 발생되는 2차 전자(secondary electron), 후방산란전자(Back-scattered electron) 및 특성 X-선을 활용하여 시료에 대한 고분해능, 고배율 영상 분석 및 성분 분석(정성, 정량)을 수행하는 고사양 전계 방사형 주사 전자현미경이다.
Shottky 전계방사형 전자총을 사용하므로 열전자방출형 전자총보다 수백~수천 배 정도의 높은 휘도 및 수 nm의 전자빔을 얻을 수 있으므로 고분해능의 측정이 가능하다.
1kV 이하의 낮은 가속전압에서도 고해상도의 이미지를 얻을 수 있으므로, 높은 가속전압 하에서 시료 표면의 손상이 일어나기 쉬운 유기재료(고분자, 생체 재료) 등의 관찰 및 표면의 미세한 구조 관찰에 유용하다.
또한, EDS는 시료의 표면에서 방출되는 원소별 특성 X선을 에너지 형태로 검출하여, 해당 영역에 함유된 원소를 정성 및 정량 분석할 수 있는 장치이다.
- 2. 사양
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· Resolution : 0.6nm(15kV), 0.7nm(1kV)
· Electron gun : In-lens Schottky field emission electron gun
· Accelerating voltage : 0.01 ~ 30 kV
· Magnification : ×25 ~ ×1,000,000
· Probe current : ~ 500nA
· Attachment : SDD type EDS
- 3. 활용분야
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나노구조의 소재 및 소자 구조 분석에 널리 사용되며 박막재료 및 반도체 재료의 국부 영역 상 관찰 등 시료의 미세구조를 관찰하기에 유용
시료의 화학조성 분석, 나노분말의 형상 및 종류 분석, 금속 및 세라믹의 미세조직 분석, 제품의 표면 상태 및 결함 분석 등 다양한 분석 연구에 사용
기계/금속/의학/약학/식품/벌크/제지분야 등 넓은 분야에서 활용
- 4. 시료준비
- 담당자와 연락 후 시편준비
- 5. 사용요금
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1. 기본 요금(1시간 기준) : 160,000원/시간2. Pt or Au 코팅 : 20,000원/회3. EDS 측정a) 30,000원/3pointb) Line : 20,000원/회c) Map : 20,000원/회*전처리는 할인 미적용
- 6. 유의사항
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측정시간은 샘플링 시간부터 진공 안정화 시간 및 시편 측정시간(이미지 측정 ,성분분석)까지 포함되기에, 이를 고려하여 예약시간 설정 및 시편 갯수 준비하시기 바랍니다.고배율(X50,000배 이상) 측정 시, 분석시간이 저배율에 비해 2배 이상 소요되기에, 분석시간 예약시 측정 배율 고려하여 예약해주시기 바랍니다.자성 시료 측정 불가합니다. (장비에 위험하기 때문에 측정을 제한)완전 건조 상태의 시편만 측정 가능합니다. (코팅기에서 건조가 가능한 Solution 시편은 분석 시간이 증가 할 수도 있음)측정하고자 하는 시료의 사이즈(입자사이즈, 증착 두께)에 따라 Pt, Au코팅 두께(증착시간)가 달라지기 때문에 대략적인 사이즈 확인합니다.
직접사용 불가장비
본교 점심시간(12:00~13:00)에는 분석이 불가함(점심시간 예약시 연락없이 취소)
30분 예약 불가 (최소 1시간부터 분석가능)