FE-TEM(투과전자현미경)은 전자가 시료에 입사되어 상호작용을 한 후 시료를 통과하여 투과빔과 회절빔이 나올 때, 빔의 특정부분을 이용하여 명시야상(bright field image), 암시야상(dark field image), 회절도형(diffraction pattern)등을 얻을 수 있는 장비이다. 이것은 약 100만 배율까지의 고배율 영상을 얻어 시편의 미세구조를 직접 볼 수 있으며 일반적인 결정 결함구조를 관찰하는데 유용하다.

중앙부분의 투과된 빔과 회절된 빔을 함께 사용하여 얻어지는 고분해능상을 이용하여 격자결함 주위의 원자배열을 밝혀낼 수 있다. 

회절도형은 결정구조에 따라서 일정하게 배열된 점이나 환모양의 띠로 나타난다. 이를 분석하면 시료의 결정 관련 정보를 얻을 수 있다. DP(회절상)로서 결정의 격자 상수와 대칭성 등을 규명할 수 있다.

Electron gun : ZrO/W(100) Schottky emitter

Acceleratin voltage range : 300kV

Magnification: up to 1,000kx

Point resolution : 0.2nm

Informaion limit : 0.14nm

HAADF detector for STEM

EDS

-. 영상(Bright field & Dark field image)을 통한 미세조직 및 결함관찰

-. 회절형상(Diffraction pattern)을 이용한 미세조직 및 결정구조 분석

-. STEM/EDS를 활용한 미세부위의 화학적 성분 분석

-. 시료 준비

 1. 샘플 전처리 : (직접할 경우) sample은 가급적 grid 어두운 면 위로 dropping 요청 및 solvent를 완전히 증발시킨 후 송부해주세요. (의뢰할 경우) 전처리를 의뢰하실 경우, 분석 하루 전에 샘플 송부바랍니다.

 2. 박막 샘플은 두께 30nm이하, 직경은 약3mm로 준비바랍니다.

 3. TEM 가속 전압이 300KV로 높은 편입니다. 자성이 있는 샘플, 고분자 시료, 유기물 함유량이 많은 시료는 Beam 손상이 되어 분석이 어렵습니다. 가속전압이 낮은 TEM을 추천드립니다.

 4. 샘플 송부 주소: 16499 경기도 수원시 영통구 월드컵로 206 에너지 센터 B107호

-. 분석 조건 예시

 1. 샘플 종류(분말/박막), 성분, 입자의 모양, 사이즈

 2. 원하는 배율 또는 스케일바, 사진 장수

 3. 분석 시간 배분(없을 시 샘플마다 동일한 시간으로 배분하여 측정)

 4. EDS 분석시 원소 정보. Point 및 mapping 분석이 가능하고, mapping은 정성분석만 할 수 있음.

 5. Reference 이미지나 논문 등 관련 자료 송부 요망

교외 200,000원/시간

교내 100,000원/시간

전처리 30,000원/ea

전처리는 교내할인 미적용

-. 예약 시, 유의 사항

 1. 최소 가능 시간 1시간, 최대 예약 가능 시간 8시간. 최소예약 시간 이후 1시간 단위로 추가 예약 가능합니다.

 2. 이미지 분석의 경우, 보통 1시간에 샘플 2~3개 분석 가능합니다. 회절분석 또는 EDS 분석을 하실 경우 샘플당 30분 추가하여 예약바랍니다.

 3. 매일 5시~6시 사이는 데이터 정리 및 TEM 장비 점검 시간입니다. 해당 시간을 피하여 예약 부탁드립니다.

 4. 당일 예약 취소 및 변경이 불가합니다.

 5. Covid19로 인해 비대면 분석을 진행하고 있습니다. 예약 시 최대한 자세하게 분석 조건을 적어주시기 바랍니다.