- SPM은 STM과 AFM을 통칭하여 부르는 용어.
- STM은 최초로 개발된 주사탐침 현미경으로서 시료와 Probe와의 거리가 매우 근접 되었을 때 시료와 탐침사이에 흐르는 tunnel전류를 이용하여 시료표면의 궤적을 주사하여 형상화하는 장비.
- AFM은 잘 휘어지는 cantilever 끝에 달려있는 뾰족한 Tip과 시료표면에 작용하는 원자 반발력 즉 인력 및 척력의 상호작용 때문에 cantilever가 휘게 되고 그 휘는 정도를 레이저의 굴절을 통해서 표면정보 얻음.

- Max. Scanning Area(XY): 0.4um×0.4um
- Max. Measureing Range(Z): 2.5um
- Max. Sample Shape: ≤15mm(diameter), ≤5mm(thick)
- XY Stage movement: 70mm×70mm manual translation

- 반도체 표면 분석, 하드 디스크, 천연 광물 표면 분석, 폴리머 표면.
- DNA 및 염색체의 구조관찰
- 마이크로 생체분자의 미세구조 관찰