| |
장비 상세보기 홈 > 분석실 안내 > 장비 상세보기
  • 기기명(한글)
    전계방사 주사전자현미경(FE-SEM) (FE-SEM)
  • 기기명(영문)
    Field Emission Scanning Electron Microscope
  • 모델명
    JSM-6700F
  • 제작사
    JEOL (Japan)
  • 도입시기
    2005-07-01
  • 설치장소
    에너지센터 B107호
  • 담당자
    곽현정
  • 현재기기상태
    활용
- FE-SEM : 전계방출형 전자총에서 가속된 전자가 시료의 표면에 조사될 때 발생되는 2차 전자(secondary electron) 및 X-선으로부터 시료의 미세영상을 확대, 관찰하고 시료의 구성원소를 정성, 정량분석하며 시료의 내부에 침투한 전자가 다시 시료 밖으로 나올 때 생기는 전자량(back scattered electron)의 차이에 의해 조성원소 중 질량이 큰 원소와 작은 원소의 분포(composition)을 알 수 있는 고해상도 전자현미경이다.
- EDS : 시료 표면에서 방출되는 특성 X선의 파장과 강도를 X선 분광기로 측정하여, 그 미소영역에 0.1% 이상 함유되어 있는 원소를 정성 및 정량 분석하는 장치이다. 시료는 비파괴 분석법을 사용하므로 몇 번이고 재사용이 가능하다.